第103节(2 / 2)
无他,因为眼前的仿真建模是他们耗费三年、将近四年的成?果!
无数日?夜的数据优化?、改进,从光源系统到光刻系统,从激光器到复杂的双工作台,从反射镜到晶圆等部件材料,海量的数据和磅礴的公式计算,一千多个日?夜的心血全数系在这一刻!
盛明安盯着右手边的光屏,那是光源优化?仿真实验结果,结果表明优化?后的光源图形和收敛曲线与预料一致,说明——
“方案可行。”
第66章 星晓[13] 红头文件。
方案可行意味着?他们研发高阶光刻机的方向是对的!
不?仅仅是解决了复杂的光源系统,更意味着?他们可以组装出?完整的高阶光刻机系统,包括仿真建模里?,模拟出?来的双工作台、反射镜等?数据都可以应用!
但现?在?
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